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所謂半導(dǎo)體電子潔凈車間，指的是潔凈度在10萬級標準以上的車間，主要是按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計算。 在絕大多數(shù)情況下，無塵車間運行中風(fēng)速越低，過濾器的使用效果越好。 小粒徑粉塵的擴散作用(布朗運動)明顯，風(fēng)速低了，氣流在過濾材料中滯留的時間就長一些，粉塵就有更多的機會撞擊障礙物，因此過濾效率就高。經(jīng)驗表明，對于高效過濾器，風(fēng)速減少一半，粉塵的透過率會降低近一個數(shù)量級(效率數(shù)值增加一個9)，風(fēng)速增加一倍，透過率會增加一個數(shù)量級(效率降低一個9)。